Studium termální stability vrstev připravených metodou PE-CVD

Bc. Vladimír Ježek

Bakalářská práce

Investigation of thermal stability of thin films prepared by PE-CVD

Anotace:

Předmětem této bakalářské práce bylo studium teplotní stability Diamond Like Carbon-DLC vrstev vytvořených metodou Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition- PE-CVD. Byla použita metoda termodesorpční spektrometrie v teplotním intervalu 20C - 1000C. Vzorky byly zahřívány při stálém růstu teploty 10ºC/min. v laboratorní peci a desorbující se plyn byl analyzován hmotnostním spektrometrem. Výsledky byly pak zpracovány v programu Exodifuze. Pomocí tohoto programu byla získána závislost iontového proudu na teplotě. Grafy závislostí iontového proudu na teplotě byly zpracovány v programu Origin. Z grafů pak bylo možno odečíst meze teplotní stability pro desorbující hmoty.

Abstract:

Thermal stability of thin DLC (Diamond Like Carbon) films prepared by PE-CVD is ivestigated in this batchelor these. The thermal desorption spectroscopy (TDS) has been used. Samples were heated up to 1000ºC with constant heating rate 10ºC/min. And desorbed gas was analysed by means of mass spectrometer. Result were processed by Talk star and Exodifuse programs. The graphs of ion current relation on temperature were gained by Origin program.

Klíčová slova

termální stabilita, DLC vrstvy, hmotnostní spektrometrie, termodesorpční spektroskopie, metoda PE-CVD

Jazyk práce: čeština

Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 23. 5. 2008

Obhajoba závěrečné práce

• Obhajoba proběhla 3. 2. 2009
• Vedoucí: doc. Mgr. Pavel Sťahel, Ph.D.

Masarykova univerzita

Přírodovědecká fakulta

Bakalářský studijní program / obor:
Aplikovaná fyzika / Astrofyzika