Bc. Vladimír Ježek

Bachelor's thesis

Studium termální stability vrstev připravených metodou PE-CVD

Investigation of thermal stability of thin films prepared by PE-CVD
Abstract:
Předmětem této bakalářské práce bylo studium teplotní stability Diamond Like Carbon-DLC vrstev vytvořených metodou Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition- PE-CVD. Byla použita metoda termodesorpční spektrometrie v teplotním intervalu 20C - 1000C. Vzorky byly zahřívány při stálém růstu teploty 10ºC/min. v laboratorní peci a desorbující se plyn byl analyzován hmotnostním spektrometrem. Výsledky …more
Abstract:
Thermal stability of thin DLC (Diamond Like Carbon) films prepared by PE-CVD is ivestigated in this batchelor these. The thermal desorption spectroscopy (TDS) has been used. Samples were heated up to 1000ºC with constant heating rate 10ºC/min. And desorbed gas was analysed by means of mass spectrometer. Result were processed by Talk star and Exodifuse programs. The graphs of ion current relation on …more
 

Keywords

termální stabilita DLC vrstvy hmotnostní spektrometrie termodesorpční spektroskopie metoda PE-CVD
 
Language used: Czech
Date on which the thesis was submitted / produced: 23. 5. 2008
Identifier: https://is.muni.cz/th/uk65o/

Thesis defence

  • Date of defence: 3. 2. 2009
  • Supervisor: doc. Mgr. Pavel Sťahel, Ph.D.

Citation record

Cite this text

Full text of thesis

Contents of on-line thesis archive
Published in Theses:
  • světu
Other ways of accessing the text
Institution archiving the thesis and making it accessible: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakulta
Složka Reference to the local database directory of the institution