Srovnání spektroskopické elipsometrie a spektroskopické reflektometrie při určování hodnot tlouštěk a optických konstant vybraných tenkých vrstev – Mgr. Tomáš Šamořil
Mgr. Tomáš Šamořil
Bakalářská práce
Srovnání spektroskopické elipsometrie a spektroskopické reflektometrie při určování hodnot tlouštěk a optických konstant vybraných tenkých vrstev
Anotace:
Tato práce je zaměřena na srovnání spektroskopické elipsometrie a spektroskopické reflektometrie při určování hodnot tlouštěk a optických konstant vybraných tenkých vrstev. Pro měření byly konkrétně vybrány kvalitní vrstvy SiO2 na Si. Po měření na elipsometru a spektrofotometru následovala vyhodnocení naměřených dat. Výsledky zpracování, které následují po popisu metod určení optických parametrů, jsou …víceAbstract:
This work is focused on comparison of spectroscopic ellipsometry with spectroscopic reflectometry on determination the values of thicknesses and optical constants of choice thin films. For the measurement were chosen quality layers SiO2 upon Si concretely. After the measurement on ellipsometer and spectrofotometer followed evaluation of measuring data. The results of the evaluation, which succeed to …více
Jazyk práce: čeština
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 26. 5. 2006
Identifikátor:
https://is.muni.cz/th/tmu7n/
Obhajoba závěrečné práce
- Obhajoba proběhla 29. 6. 2006
- Vedoucí: prof. RNDr. Ivan Ohlídal, DrSc.
Citační záznam
Citace dle ISO 690:
ŠAMOŘIL, Tomáš. \textit{Srovnání spektroskopické elipsometrie a spektroskopické reflektometrie při určování hodnot tlouštěk a optických konstant vybraných tenkých vrstev}. Online. Bakalářská práce. Brno: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakulta. 2006. Dostupné z: https://theses.cz/id/22etdl/.
Plný text práce
Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:- světu
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakultaMasarykova univerzita
Přírodovědecká fakultaBakalářský studijní program / obor:
Fyzika / Fyzika
Práce na příbuzné téma
-
Imunosensory pro patogeny včel na bázi transparentních elektrod
David Pokorný -
Elektronové vlastnosti kobaltitů studovaných pomocí elipsometrie
Miroslav Golian -
Elipsometrie tenkých vrstev
Zbyněk Novotný -
Optická elipsometrie
Tomáš HORÁK -
Amorfní chalkogenidové tenké vrstvy
Petra Hawlová -
Sol-gel vrstvy jako nástroj pro modifikaci povrchových\nl{} struktur optických komponent.
Maxim Savelov -
Modulační elipsometrie
Jindřich Oulehla