Bezchromanové selektivní leptání monokrystalického křemíku

Petra KŘIŠTOFOVÁ

Bachelor's thesis

Chromium(VI)-free preferencial etching of sillicon monocrystals

Abstract:

Tato práce se zabývala testováním bezchromových roztoků používaných k selektivnímu leptání křemíkových materiálů. Byla připravována dvě různá leptadla, která byla odzkoušena na rychlost leptání a selektivitu na devíti vzorcích Si. Prvním z použitých roztoků byla směs kyseliny fluorovodíkové, dusičné, octové a vody. Rychlost leptání v této směsi bylo v rozsahu 0,30 - 0,64 ?m/min při teplotě 20 °C. Bylo zjištěno, že selektivita tohoto leptání závisí na rezistivitě materiálu, při čemž s dostatečnou selektivitou se leptají desky s rezistivitou větší než 0,01 ?cm. Druhým použitým leptadlem byla směs stejných kyselin s přídavkem jodidu draselného, kterým byly leptány desky o velmi nízkých rezistivitách. Roztok neleptal s dostatečnou selektivitou. Rychlost tohoto leptání se pohybovala v rozmezí 0,22 - 0,37 ?m/min při teplotě 20 °C.

Abstract:

This bachelor thesis deals with the testing of Cr-free etching solutions which are used for preferential etching of silicon materials. Two etchants were prepared and their etching rate and selectivity were tested on nine Si samples. The first solution contained hydrofluoric acid, nitric acid, acetic acid and water. The etching rate in this solution was 0.30 - 0.64 ?m/min at 20 °C. It was discovered that the selectivity depends on resistivity of materials and that silicon wafers with resistivity above 0,01 ?cm are etched selectively. The second etchant was a mixture of the same acids as in the first one, only with extra potassium iodide. It was used for etching wafers with very low resistivity. This solution didn´t etch selectively. The etching rate ranged from 0.22 to 0.37 ?m/min at 20 °C.

Keywords

CZ křemík, bezchromové selektivní leptání, rychlost leptání

Language used: Czech

Date on which the thesis was submitted / produced: 23. 4. 2018

Thesis defence

• Date of defence: 6. 6. 2018
• Supervisor: doc. RNDr. Václav Slovák, Ph.D.

University of Ostrava

Faculty of Science

Bachelor programme / field:
Chemistry / Chemistry