Bezchromanové selektivní leptání monokrystalického křemíku – Petra KŘIŠTOFOVÁ
Petra KŘIŠTOFOVÁ
Bakalářská práce
Bezchromanové selektivní leptání monokrystalického křemíku
Chromium(VI)-free preferencial etching of sillicon monocrystals
Anotace:
Tato práce se zabývala testováním bezchromových roztoků používaných k selektivnímu leptání křemíkových materiálů. Byla připravována dvě různá leptadla, která byla odzkoušena na rychlost leptání a selektivitu na devíti vzorcích Si. Prvním z použitých roztoků byla směs kyseliny fluorovodíkové, dusičné, octové a vody. Rychlost leptání v této směsi bylo v rozsahu 0,30 - 0,64 ?m/min při teplotě 20 °C. Bylo …víceAbstract:
This bachelor thesis deals with the testing of Cr-free etching solutions which are used for preferential etching of silicon materials. Two etchants were prepared and their etching rate and selectivity were tested on nine Si samples. The first solution contained hydrofluoric acid, nitric acid, acetic acid and water. The etching rate in this solution was 0.30 - 0.64 ?m/min at 20 °C. It was discovered …více
Jazyk práce: čeština
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 23. 4. 2018
Obhajoba závěrečné práce
- Obhajoba proběhla 6. 6. 2018
- Vedoucí: doc. RNDr. Václav Slovák, Ph.D.
Citační záznam
Jak správně citovat práci
KŘIŠTOFOVÁ, Petra. Bezchromanové selektivní leptání monokrystalického křemíku. Ostrava, 2018. bakalářská práce (Bc.). OSTRAVSKÁ UNIVERZITA. Přírodovědecká fakulta
Plný text práce
Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:- autentizovaným zaměstnancům ze stejné školy/fakulty, autentizovaným studentům ze stejné školy/fakulty
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: OSTRAVSKÁ UNIVERZITA, Přírodovědecká fakultaOSTRAVSKÁ UNIVERZITA
Přírodovědecká fakultaBakalářský studijní program / obor:
Chemie / Chemie
Práce na příbuzné téma
-
Reaktivita a úprava vlastností kovových materiálů
Jakub Tkacz -
Kvantově-mechanické modelování fází obsahujících uhlík a křemík
Jaroslav Drgoňa -
Křemík jako ochrana při působení UV-B záření.
Tereza Hurdálková -
KŘEMÍK, HLINÍK, HOŘČÍK A JEJICH SLOUČENINY VE VÝUCE CHEMIE NA ZŠ
Milan ARMSTARK -
Schottkyho solární články na rozhraní grafen/křemík
Radim Zahradníček -
Studium rozhraní grafen/křemík užitím metody EBIC
Veronika Hammerová -
Určování optických konstant a strukturních parametrů tenkých DLC vrstev s příměsí křemíku a kyslíku
Pavlína Kührová -
Solární články z monokrystalického křemíku typu n s vysokou účinností
Barbora Mojrová