Vlastnosti tenkých uhlíkových vrstev připravovaných metodou PECVD

Ing. Jan Koutecký

Diplomová práce

Properties of thin carbon films prepared by PECVD

Anotace:

Cílem této diplomové práce bylo seznámit se a vypracovat podrobnou rešerši dle zadání, dále pak pomocí metody plazmové depozice z plynné fáze (PECVD), vytvořit sérii DLC (Diamond like carbon) vrstev s různou tloušťkou na substrátu z lékařské oceli AISI 316 L. Tyto vrstvy byly následovně podrobeny testu vyluhovatelnosti, při kterém bylo zkoumáno, zda vrstvy působí jako bariéra pro prvky ze substrátu (především pro alergenní Ni). Dále byla zkoumána morfologie a integrita deponovaných vrstev pomocí AFM,SEM a adheze vrstev. Pomocí kalotestu byly zjištěny tloušťky vrstev. U vrstev bylo zjištěno chemické složení povrchu pomocí EDS analýzy. Diplomová práce je členěna na základní části - úvod, teoretickou část, použité experimentální metody a přístroje, výsledky experimentů, diskuzi a závěr.

Abstract:

The aim of this thesis was to get acquainted and to develop a detailed search according to the assignment, then using the method of plasma vapor deposition (PECVD), create a series of DLC (Diamond Like Carbon) layers with different thickness on a substrate of medical steel AISI 316 L. These layers were subsequently subjected to a test for leaching, in which it was examined whether the layer acts as a barrier for the elements from the substrate (particularly for allergenic Ni). It was also examined the morphology and integrity of the deposited films using AFM, SEM and adhesion layers. Kalotest identified thicknesses. For films, it was found the surface chemical composition by EDS analysis. The thesis is divided into basic parts - introduction, theoretical part, the experimental methods and devices, experimental results, discussion and conclusions.

Klíčová slova

DLC, PECVD, vyluhovatelnost, AISI 316 L, bariérová vrstva, tenké vrstvy

Jazyk práce: čeština

Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 15. 5. 2015

Obhajoba závěrečné práce

• Obhajoba proběhla 9. 6. 2015
• Vedoucí: Ing. Pavlína Hájková, Ph.D.

Technická univerzita v Liberci

Fakulta strojní

Magisterský studijní program / obor:
Strojní inženýrství / Strojírenská technologie