Rtg studium strukturních defektů v monokrystalech křemíku – Mgr. Pavel Klang, Ph.D.
Mgr. Pavel Klang, Ph.D.
Doctoral thesis
Rtg studium strukturních defektů v monokrystalech křemíku
X-ray study of structural defects in silicon monocrystals
Abstract:
V rámci této disertační práce jsem se zaměřil na studium strukturních defektů v monokrystalech křemíku. Křemík je nejběžněji používaným materiálem v polovodičovém průmyslu. Se zvyšujícími nároky na kvalitu tohoto polovodičového materiálu je stále důležitější se věnovat studiu přítomných defektů. Zaměřil jsem se na charakterizaci defektů v tepelně zpracovaných deskách, které pocházely z křemíkového …moreAbstract:
In this dissertation I focus on the study of structural defects in silicon monocrystals. Silicon is the most common material used in the semiconductor industry. Due to the increasing requirements on the quality of this semiconducting material the study of the defects is gradually growing in importance. I focus on the characterization of defects in annealed wafers, which come from silicon monocrystals …more
Language used: Czech
Date on which the thesis was submitted / produced: 13. 11. 2006
Identifier:
https://is.muni.cz/th/kr98i/
Thesis defence
- Date of defence: 19. 12. 2006
- Supervisor: prof. RNDr. Václav Holý, CSc.
Citation record
Full text of thesis
Contents of on-line thesis archive
Published in Theses:- světu
Other ways of accessing the text
Institution archiving the thesis and making it accessible: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakultaMasaryk University
Faculty of ScienceDoctoral programme / field:
Physics / Solid Matter Physics
Theses on a related topic
-
Využití rentgenové difrakce pro identifikaci nových syntetických drog s důrazem na identifikaci katinonů
Jakub Žajdlík -
Měření pnutí v tenkých vrstvách s využitím rentgenové difrakce
Slavomír Mičienka -
Charakterizace fázové struktury polymerů pomocí maloúhlové rentgenové difrakce
Adriana Ryzí -
Příprava anorganických materiálů s použitím elektrostatického zvlákňování
Vojtěch Kundrát -
Multifunkční bavlněná textilie s celulózou plněnou nano TiO2
Bandu Madhukar Kale -
Krystalizace polypropylenu s beta nukleačním činidlem vznikajícím in-situ
Charlota Váňová -
Vliv nevazebných interakcí na strukturu a magnetické vlastnosti Co(II) jedno-iontových molekulových magnetů s koordinačním číslem 4
Petr PŘECECHTĚL -
Vliv nevazebných interakcí na strukturu a magnetické vlastnosti Co(II) jedno-iontových molekulových magnetů s koordinačním číslem 4
Petr PŘECECHTĚL