Zpět na vyhledávání

Bc. Pavel Ondračka

Master's thesis

Studium tenkých vrstev a povrchů optickými spektroskopickými metodami

Study of thin films and surfaces by optical spectroscopic methods
Abstract:
Tato diplomová práce se věnuje zkoumání tenkých DLC vrstev deponovaných plazmochemickou metodou PECVD pomocí optických diagnostických metod (UV/VIS odrazivost, UV/VIS elipsometrie a IR propustnost) a iontových metod RBS a ERDA. V rámci této práce je rozšířen stávající model dielektrické odezvy DLC materiálů, především co se týče absorpce vibračních stavů uhlovodíkových skupin. Optická data čtyř vybraných …more
Abstract:
DLC thin films deposited by plasma enhanced chemical vapor deposition were studied by optical methods (UV/VIS ellipsometry, UV/VIS reflectance and IR transmittance) and ion beam methods (Rutherford backscattering spectroscopy and elastic recoil detection analysis). Current model of dielectric response of DLC material was further developed, with focus on the absorption of hydrocarbon groups vibration …more
 

Keywords

DLC PECVD optická diagnostika koncentrace vodíku optical diagnostics hydrogen concentration
 
Language used: Czech
Date on which the thesis was submitted / produced: 17. 5. 2013
Identifier: https://is.muni.cz/th/jr7w3/

Thesis defence

  • Date of defence: 18. 6. 2013
  • Supervisor: doc. Mgr. Lenka Zajíčková, Ph.D.

Citation record

Cite this text

Full text of thesis

Contents of on-line thesis archive
Published in Theses:
  • světu
Other ways of accessing the text
Institution archiving the thesis and making it accessible: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakulta
Složka Reference to the local database directory of the institution