Depozice ultratenkých vrstev oxidů cínu dopovaných železem a podobných systémů

Bc. Matěj ŠEBÍK

Diplomová práce

Deposition of ultrathin iron doped tin oxides and similar materials

Anotace:

Tato diplomová práce se zabývá vytvářením tenkých vrstev oxidů cínu dopovaných železem a jejich charakterizací. Vrstvy se vytvářejí metodou DC pulzního magnetronového naprašování a RF magnetronovým naprašováním. Charakterizace těchto vrstev je prováděna metodou rentgenové fotoelektronové spektroskopie, hmotnostní spektrometrií a spektroskopickou elipsometrií. Na těchto výstupech jsou zkoumány různé parametry depozičního procesu a jejich vliv na výslednou vrstvu. Předpokládá se využití těchto vrstev v optických senzorech plynů.

Abstract:

This thesis concerns with the deposition processes of iron doped tin oxide thin films and their characterisation. The layers are produced by DC pulsed magnetron sputtering and RF magnetron sputtering. Characterisation of these layers is carried out by X-ray photoelectron spectroscopy, mass spectroscopy and spectroscopic ellipsometry. Different parameters of the deposition process are studied from the outputs and their influence on a resulting layer. These thin layers are planned to be used in optical gas sensors.

Klíčová slova

tenké vrstvy, DC pulsní magnetronové naprašování, RF magnetronové naprašování, XPS, hmotnostní spektrometrie, spektroskopická elipsometrie, optické plynové senzory

Jazyk práce: čeština

Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 6. 5. 2016

Zveřejnit od: 31. 12. 2999

Obhajoba závěrečné práce

• Vedoucí: Ing. Martin Kormunda, Ph.D.

UNIVERZITA JANA EVANGELISTY PURKYNĚ V ÚSTÍ NAD LABEM

Přírodovědecká fakulta

Magisterský studijní program / obor:
Nanotechnologie / Aplikované nanotechnologie