Využití polymerních rezistů pro přípravu mikro a nanostruktur pomocí elektronové litografie – Jaroslav Navrátil
Jaroslav Navrátil
Bachelor's thesis
Využití polymerních rezistů pro přípravu mikro a nanostruktur pomocí elektronové litografie
Application of Polymers for Electron Beam Lithography
Anotácia:
Tato práce se zaměřuje na techniku elektronové litografie a přípravu struktur v polymerním rezistu PMMA pomocí expozice elektronovým svazkem. Pozornost je věnována procesu vyvolávání rezistu a vyhodnocení struktur pomocí optického mikroskopu, mechanického profilemetru a mikroskopu atomárních sil (AFM).Abstract:
This bachelor thesis is focusing on the technique of electron-beam lithography and preparation of structures in polymer resist PMMA using electron beam exposure. Attention is paid to the process of resist development and evaluation of structures using an optical microscope, a mechanical profilometer and an atomic force microscope (AFM).
Jazyk práce: Czech
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 20. 5. 2020
Obhajoba závěrečné práce
Citační záznam
Citace dle ISO 690:
NAVRÁTIL, Jaroslav. \textit{Využití polymerních rezistů pro přípravu mikro a nanostruktur pomocí elektronové litografie}. Online. Bakalárska práca. Zlín: Univerzita Tomáše Bati ve Zlíně, Faculty of Technology. 2020. Dostupné z: https://theses.cz/id/85ihz0/.
Jak správně citovat práci
Navrátil, Jaroslav. Využití polymerních rezistů pro přípravu mikro a nanostruktur pomocí elektronové litografie. Zlín, 2020. bakalářská práce (Bc.). Univerzita Tomáše Bati ve Zlíně. Fakulta technologická
Plný text práce
Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:- autentizovaným zaměstnancům ze stejné školy/fakulty
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: Univerzita Tomáše Bati ve Zlíně, Fakulta technologickáPlny text prace je k dispozici v elektronicke podobe
Tomas Bata University in Zlín
Faculty of TechnologyBachelor programme / odbor:
Chemistry and Materials Technology / Materials Engineering
Práce na příbuzné téma
-
Polymerní rezisty pro zápis elektronovým svazkem
Jaroslav Navrátil -
Studium rozbalování proteinů s použitím AFM
Barbora Javorská -
Zobrazování fágových částic pomocí AFM mikroskopie
Simona Zahrádková -
Nanoscale imaging with atomic force microscopy (AFM)
Veronika Horáčková -
Biomechanika srdečních buněk, AFM studie
Barbora Veselá -
Studium biomechaniky buněk s použitím AFM nanoindentace
Zuzana Bertová -
Studium imunointerakcí pomocí AFM
Patrik Gereg -
Vývoj měřící komory pro měření pomocí AFM
Patrik Biener