Výsokovýkonové pulzní reaktivní magnetronové naprašování oxidových a oxynitridových vrstev – Alexandr BELOSLUDTSEV
Alexandr BELOSLUDTSEV
Doctoral thesis
Výsokovýkonové pulzní reaktivní magnetronové naprašování oxidových a oxynitridových vrstev
Reactive High-Power Impulse Magnetron Sputtering of Oxides and Oxynitrides Thin Films
Abstract:
Oxidy a oxynitridy přechodových kovů jsou třídou materiálů s ještě neprozkoumanými fyzikálními, chemickými a funkčními vlastnostmi a s velkým potenciálem pro průmyslové aplikace. Tato disertační práce se zabývá přípravou a charakterizací multifunkčních oxidových a oxynitridových vrstev. Pro přípravu vrstev bylo použito vysokovýkonové pulzní reaktivní magnetronové naprašování se zpětnovazebním pulzním …viacAbstract:
Transition metal oxides and oxynitrides are a class of materials with yet unexplored physical, chemical and functional properties, and a great potential for industrial applications. This Ph.D. thesis deals with preparation and characterization of multifunctional oxide and oxynitride films. They were prepared using high-power impulse magnetron sputtering with a feedback pulsed reactive gas flow control …viacAbstract:
ávěrům disertační práce. V kapitole V jsou uvedeny další publikace kandidáta
Jazyk práce: English
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 9. 1. 2017
Zverejniť od: 31. 12. 2999
Obhajoba závěrečné práce
Citační záznam
Citace dle ISO 690:
BELOSLUDTSEV, Alexandr. \textit{Výsokovýkonové pulzní reaktivní magnetronové naprašování oxidových a oxynitridových vrstev}. Online. Dizertačná práca. Plzeň: Západočeská univerzita v Plzni, Faculty of Applied Sciences. 2017. Dostupné z: https://theses.cz/id/9d433s/.
Jak správně citovat práci
BELOSLUDTSEV, Alexandr. Výsokovýkonové pulzní reaktivní magnetronové naprašování oxidových a oxynitridových vrstev. Plzeň, 2017. disertační práce (Ph.D.). ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI. Fakulta aplikovaných věd
Plný text práce
Právo: Autor si nepřeje zpřístupnění práce veřejnosti
Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:- Soubory jsou nedostupné.
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI, Fakulta aplikovaných vědVázaný výtisk práce naleznete v Univerzitní knihovně ZČU, více na http://www.knihovna.zcu.cz/kvalifikacni-prace/
University of West Bohemia
Faculty of Applied SciencesDoctoral programme / odbor:
Applied Sciences and Computer Engineering / Plasma Physics and Physics of Thin Films
Práce na příbuzné téma
-
Počítačové modelování napouštění reaktivního plynu pro vysokovýkonové pulzní magnetronové naprašování oxidů kovů
Milada KREJČOVÁ -
Nestacionární model pro vysokovýkonové pulzní magnetronové rozprašování kovů
Milada KREJČOVÁ -
Vysokovýkonová pulzní reaktivní magnetronová depozice vrstev VO2 na skle
Michal TICHÝ -
Vysokovýkonová pulzní magnetronová depozice vrstev
Branislav ZUŠTIN -
Vysokovýkonová pulzní reaktivní magnetronová depozice vrstev oxidů a oxynitridů tantalu a zirkonia
Jiří REZEK -
Nízkoteplotní depozice vysoce funkčních termochromických povlaků na bázi VO2 použitím pulzního reaktivního magnetronového naprašování
David KOLENATÝ -
Parametrické modelování pulzního vysokovýkonového magnetronového výboje pro depozici vrstev
Tereza LERCHOVÁ -
Reaktivní vysokovýkonová pulzní magnetronová depozice vrstev HfO2
David KOLENATÝ