Sondová měření v pulzním výboji

Bc. Tomáš Medek

Bakalářská práce

Probe measurements in a pulsed discharge

Anotace:

Cílem této bakalářské práce bylo navrhnout a sestrojit funkční emisní sondu, shrnoutzákladní aspekty emisních sond a změřit s ní potenciál plazmatu v ustáleném kapacitněvázaném RF výboji a při jeho zapalování. Tyto cíle se nám podařilo splnit, pozorovalijsme předpokládané chování v ustáleném stavu, při zapalování jsme pozorovali výraznýpočáteční nárůst stejnosměrné složky potenciálu plazmatu nad svou ustálenou hodnotu.Vytvořená sonda byla ale schopná sledovat i vysokofrekvenční složky napětí včetně vy-šších harmonických frekvencí a jejich postupného vzniku na počátku zapalování výboje.Tyto výsledky ukazují, že emisní sonda má potenciál pro měření kompletního vysoko-frekvenčního průběhu potenciálu plazmatu.

Abstract:

Goals of this bachelor thesis were to design and to construct a functioning emissiveprobe, to summarize basic aspects of emissive probes and to measure plasma potential insteady state of CCP RF discharge and during it’s ignition. Those goals were achieved, wehave observed expected behaviour during the steady state of CCP, during it’s ignition wehave observed large initial overshoot of DC plasma potential over it’s steady state value.We have also observed high frequency plasma potential and formation of higher harmonicsduring the very beginning of ignition. These results show, that emissive probes has potentialin measurements of complete high frequency plasma potential waveforms.

Klíčová slova

plasma, sondová měření, emisní sonda, pulzní výboj, kapacitněvázaný výboj, probe measurements, emissive probe, pulseddischarge, capacitively coupled discharge

Jazyk práce: čeština

Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 17. 6. 2021

Obhajoba závěrečné práce

• Obhajoba proběhla 12. 7. 2021
• Vedoucí: doc. Mgr. Pavel Dvořák, Ph.D.
• Oponent: prof. Mgr. Vít Kudrle, Ph.D.

Masarykova univerzita

Přírodovědecká fakulta

Bakalářský studijní program / obor:
Fyzika / Fyzika