Bc. Tomáš Medek
Bachelor's thesis
Sondová měření v pulzním výboji
Probe measurements in a pulsed discharge
Abstract:
Cílem této bakalářské práce bylo navrhnout a sestrojit funkční emisní sondu, shrnoutzákladní aspekty emisních sond a změřit s ní potenciál plazmatu v ustáleném kapacitněvázaném RF výboji a při jeho zapalování. Tyto cíle se nám podařilo splnit, pozorovalijsme předpokládané chování v ustáleném stavu, při zapalování jsme pozorovali výraznýpočáteční nárůst stejnosměrné složky potenciálu plazmatu nad svou …moreAbstract:
Goals of this bachelor thesis were to design and to construct a functioning emissiveprobe, to summarize basic aspects of emissive probes and to measure plasma potential insteady state of CCP RF discharge and during it’s ignition. Those goals were achieved, wehave observed expected behaviour during the steady state of CCP, during it’s ignition wehave observed large initial overshoot of DC plasma potential …more
Language used: Czech
Date on which the thesis was submitted / produced: 17. 6. 2021
Identifier:
https://is.muni.cz/th/ysz0p/
Thesis defence
- Date of defence: 12. 7. 2021
- Supervisor: doc. Mgr. Pavel Dvořák, Ph.D.
- Reader: prof. Mgr. Vít Kudrle, Ph.D.
Full text of thesis
Contents of on-line thesis archive
Published in Theses:- světu
Other ways of accessing the text
Institution archiving the thesis and making it accessible: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakultaMasaryk University
Faculty of ScienceBachelor programme / field:
Physics / Physics
Theses on a related topic
-
Organosilicon coatings based on trimethylsilyl acetate monomer prepared using plasma of RF capacitively coupled glow discharge
Štěpánka Kelarová -
Simulace měření válcovou sondou v plazmatu
Kristián Farkaš -
Simulace měření válcovou sondou v plazmatu metodou PIC/MC
Zvonimír Jílek -
Simulace měření válcovou emisní sondou v plazmatu
Jakub Čaloud -
Simulace měření válcovou sondou v RF plazmatu
Petr Skopal -
Simulace sondových měření v plazmatu
Jakub Wagner -
Plasma-chemical modifications of polymeric materials
David Pavliňák -
Atmospheric pressure plasma treatment of metal surfaces by DCSBD plasma source: effects of plasma treatment and aging effect of plasma treated surfaces
Vadym Prysiazhnyi