Depozice funkčních tenkovrstvých materiálů pomocí pokročilých naprašovacích technik

Ing. Šárka BATKOVÁ

Disertační práce

Deposition of functional thin-film materials by advanced sputtering techniques

Abstract:

Materials from the Ta-O-N system offer very promising properties in terms of hydrogen production via light-induced water splitting. This Ph.D. thesis deals with the preparation and systematic investigation of Ta-O-N films with very finely-tuned elemental composition. Because it should be possible to even further enhance the water splitting performance in future research by tuning of the material structure and by addition of nanoparticles, advanced magnetron-based deposition techniques were also investigated: (a) bipolar HiPIMS and its effects on the structure and properties of the prepared films and (b) magnetron-based gas-aggregation source of nanoparticles and the possibility of nanoparticle size control.

Abstract:

Materiály ze systému Ta-O-N nabízejí velice slibné vlastnosti pro produkci vodíku rozkladem vody aktivovaným světlem. Tato disertační práce se zabývá přípravou a systematickým výzkumem vrstev Ta-O-N s velmi jemně laděným prvkovým složením. Protože by mělo být možné ještě dále vylepšit funkčnost materiálu vylepšením jeho struktury a přidáním nanočástic, byly dále zkoumány i pokročilé magnetronové depoziční techniky: (a) bipolární HiPIMS a jeho vliv na strukturu a vlastnosti rostoucí vrstvy a (b) magnetronový agregační zdroj nanočástic a možnost kontroly jejich velikosti.

Keywords

Ta-O-N, Oxynitrid tantalu, Rozklad vody, Vysokovýkonové pulzní magnetronové naprašování, HiPIMS, Bipolární HiPIMS, Nanočástice, Magnetronový agregační zdroj, Výstupní štěrbina

Jazyk práce: angličtina

Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 15. 11. 2021

Zveřejnit od: 31. 12. 2999

Obhajoba závěrečné práce

• Vedoucí: Doc. Ing. Jiří Čapek, Ph.D.

ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI

Fakulta aplikovaných věd

Doktorský studijní program / obor:
Aplikované vědy a informatika / Fyzika plazmatu a tenkých vrstev