Mgr. David Nečas, Ph.D.

Disertační práce

Optical characterisation of non-uniform thin films

Optical characterisation of non-uniform thin films
Anotace:
Studuje se vliv plošné neuniformity tenkých vrstev na jejich optickou charakterizaci se zaměřením na neuniformitu v tloušťce. Jsou navrženy vhodné modely a parameterizace pro zahrnutí tohoto defektu do výpočtu optických veličin. Jejich použitelnost je ověřena jak numerickými studiemi, tak charakterizací skutečných vzorků neuniformích tenkých vrstev.
Abstract:
Influence of area non-uniformity of thin films on their optical characterisation is studied, with focus on thickness non-uniformity. Suitable models and parametrisations are proposed for incorporation of this defect into the calculation of optical quantities. Their applicability is verified both using numeric studies and by characterisation of real samples of non-uniform thin films.
 

Keywords

ellipsometry spectrophotometry thin films optical characterisation non-uniformity elipsometrie spektrofotometrie tenké vrstvy optická charakterizace neuniformita
 
Jazyk práce: angličtina
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 11. 2. 2013
Identifikátor: https://is.muni.cz/th/ho7w1/

Obhajoba závěrečné práce

  • Obhajoba proběhla 27. 6. 2013
  • Vedoucí: prof. RNDr. Ivan Ohlídal, DrSc.
  • Oponent: doc. Dr. Mgr. Kamil Postava, prof. RNDr. Jan Peřina, DrSc.

Citační záznam

Citovat tuto práci

Plný text práce

Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:
  • světu
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakulta
Složka Odkaz na adresář do lokálního úložiště instituce