Zpět na vyhledávání

Mgr. David Nečas, Ph.D.

Doctoral thesis

Optical characterisation of non-uniform thin films

Optical characterisation of non-uniform thin films
Abstract:
Studuje se vliv plošné neuniformity tenkých vrstev na jejich optickou charakterizaci se zaměřením na neuniformitu v tloušťce. Jsou navrženy vhodné modely a parameterizace pro zahrnutí tohoto defektu do výpočtu optických veličin. Jejich použitelnost je ověřena jak numerickými studiemi, tak charakterizací skutečných vzorků neuniformích tenkých vrstev.
Abstract:
Influence of area non-uniformity of thin films on their optical characterisation is studied, with focus on thickness non-uniformity. Suitable models and parametrisations are proposed for incorporation of this defect into the calculation of optical quantities. Their applicability is verified both using numeric studies and by characterisation of real samples of non-uniform thin films.
 

Keywords

ellipsometry spectrophotometry thin films optical characterisation non-uniformity elipsometrie spektrofotometrie tenké vrstvy optická charakterizace neuniformita
 
Language used: English
Date on which the thesis was submitted / produced: 11. 2. 2013
Identifier: https://is.muni.cz/th/ho7w1/

Thesis defence

  • Date of defence: 27. 6. 2013
  • Supervisor: prof. RNDr. Ivan Ohlídal, DrSc.
  • Reader: doc. Dr. Mgr. Kamil Postava, prof. RNDr. Jan Peřina, DrSc.

Citation record

Cite this text

Full text of thesis

Contents of on-line thesis archive
Published in Theses:
  • světu
Other ways of accessing the text
Institution archiving the thesis and making it accessible: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakulta
Složka Reference to the local database directory of the institution