Jakub Toběrný

Bachelor's thesis

Laser lithography – exposure of structure and modelling of Gaussian beam.

Laser lithography – exposure of structure and modelling of Gaussian beam.
Abstract:
Různé typy mikrostruktur mohou být připraveny za použití laserové litografie s přímým zápisem. Většina těchto struktur jsou optické difrakční součástky, po kterých je velká poptávka. Realizace požadované velikosti a tvaru struktury může být však problematická z důvodu různé nelineární odezvy různých typů fotorezistů na expoziční dávku. Optimalizace litografických parametrů a pochopení chemie fotorezistu …more
Abstract:
Various types of micro-structures can be prepared using direct writing laser lithography. The majority of these structures are optical diffractive components, which are in high demand. However, implementation of the desired structure size and shape may be problematic due to the different non-linear responses of different types of photoresists to the exposure dose. Optimization of lithographic parameters …more
 

Keywords

laserová litografie přímý zápis pozitivní fotorezist Gaussův svazek numerické modelování absorpce mikročočka difrakční mřížka spin-coating elipsometrie konfokální mikroskopie mikroskopie atomárních sil

Keywords

laser lithography direct writing positive photoresist Gaussian beam numeric modelling absorption micro-lens diffraction grating spin-coating ellipsometry confocal microscopy atomic force microscopy
 
Language used: English
Date on which the thesis was submitted / produced: 5. 5. 2023
Identifier: http://hdl.handle.net/10084/150449

Thesis defence

  • Date of defence: 8. 6. 2023
  • Supervisor: Tomáš Kohut
  • Reader: Libor Kotačka

Citation record

Cite this text

Full text of thesis

Accessibility: Plné texty vysokoškolských kvalifikačních prací obhájených na Vysoké škole báňské - Technické univerzitě Ostrava jsou uloženy v repozitáři DSpace. Přístup k plným textům mají všichni uživatelé bez omezení. Přístup je omezen pouze ve výjimečných případech, zpravidla z důvodu ochrany duševního vlastnictví. Nepřístupné práce jsou označeny jako closedAccess nebo embargoedAccess. Tištěné verze prácí jsou uloženy v Ústřední knihovně VŠB-TUO a jsou prezenčně přístupné ve studovně diplomových prací. Další nakládání s prací (kopírování, opisy, MVS)se řídí Knihovní a výpůjčním řádem Ústřední knihovny VŠB-TUO.

Contents of on-line thesis archive
Published in Theses:
  • autentizovaným zaměstnancům ze stejné školy/fakulty
Other ways of accessing the text
Institution archiving the thesis and making it accessible: VŠB – Technická univerzita Ostrava