Určování pnutí v tenkých vrstvách – Mgr. Miloš Hronček
Mgr. Miloš Hronček
Bakalářská práce
Určování pnutí v tenkých vrstvách
Strain analysis in thin layers
Abstract:
The content of this work is description of experiments that led to the identification of stress in thin CN_X films deposited on Si substrate with (001) orientation. The theoretical part deals with the general analysis of stress and deformation of the continuum and the relationship between them. The explanation of the Stoney’s equation is then based on this analysis. Experimental section describes the …víceAbstract:
Obsahom tejto práce je opis experimentov, ktoré viedli k určeniu napätia v tenkých CN_X vrstvách deponovaných na Si substráte s orientáciou (001). Teoretická časť sa zaoberá všeobecným rozborom napätia a deformácie kontinua a vzťahu medzi nimi. Na základe tohto rozboru je potom vysvetlený Stoneyho vzťah. Experimentálna časť opisuje meranie krivosti pomocou RTG difrakcie.
Jazyk práce: slovenština
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 20. 5. 2011
Identifikátor:
https://is.muni.cz/th/omf9o/
Obhajoba závěrečné práce
- Obhajoba proběhla 21. 6. 2012
- Vedoucí: Mgr. Ondřej Caha, Ph.D.
Plný text práce
Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:- světu
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakultaMasarykova univerzita
Přírodovědecká fakultaBakalářský studijní program / obor:
Fyzika / Fyzika