Zpět na vyhledávání

Bc. Adam Weiser

Bachelor's thesis

Studium a úprava povrchů skenovacím elektronovým mikroskopem

Study and modification of surfaces by scanning electron microscopy
Abstract:
V této práci se věnuji problematice použití skenovacího elektronového mikroskopu při zobrazení povrchu polovodičů a jejich úpravou pomocí iontového fokusovaného svazku. Experimentální část práce je provedena na mikroskopu FEI Quanta 3D 200i. Jejím cílem je analýza profilů a tvarů čar vzniklých odprášením křemíku pomocí fokusovaného iontového svazku v závislosti na proudu a délce expozice a nalezení …more
Abstract:
In this thesis I use a scanning electron microscope for surfaces of semiconductors and their structuring using a focused ion beam. The experimental part of this work is done on microscope Quanta 3D 200i by FEI. The aim is to analyze profiles and shapes of lines prepared by focused ion beam depending on current and dwell time and obtaining optimal settings for imagining a quality image with electron …more
 

Keywords

SEM elektronová mikroskopie FIB iontový svazek studium povrchů úprava povrchů electron microscopy focused ion beam study of surfaces modification of surfaces
 
Language used: Czech
Date on which the thesis was submitted / produced: 20. 5. 2015
Identifier: https://is.muni.cz/th/fv1dm/

Thesis defence

  • Date of defence: 23. 6. 2015
  • Supervisor: doc. RNDr. Petr Mikulík, Ph.D.

Citation record

Cite this text

Full text of thesis

Contents of on-line thesis archive
Published in Theses:
  • světu
Other ways of accessing the text
Institution archiving the thesis and making it accessible: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakulta
Složka Reference to the local database directory of the institution