Určování deformace tenkých vrstev pomocí rtg difrakce – Mgr. Tomáš Čechal
Mgr. Tomáš Čechal
Bachelor's thesis
Určování deformace tenkých vrstev pomocí rtg difrakce
Strain determination in thin layers using x-ray diffraction
Abstract:
Tato práce je věnována studiu deformace epitaxních vrstev materiálu SiGe na Si(001) substrátu pomocí rentgenové difraktometrie. V prvních třech kapitolách jsou vyloženy základy kinematické teorie difrakce rentgenového záření, je nalezena souvislost mezi mapami rozptýlené intenzity v úhlovém a reciprokém prostoru a jsou uvedeny základní vlastnosti slitiny SiGe. V následující kapitole je popsáno experimentální …moreAbstract:
This work deals with a study of deformation of SiGe epitaxial layers on Si(001) substrate using x-ray diffractometry. In first three chapters, fundamentals of kinematical theory of x-ray scattering are presented, connection between angular-space and reciprocal-space maps of scattered intensity is estabilished and basic properties of SiGe alloy are summarized. The experimental set-up used and the method …more
Language used: Czech
Date on which the thesis was submitted / produced: 7. 5. 2007
Identifier:
https://is.muni.cz/th/ymgih/
Thesis defence
- Date of defence: 28. 6. 2007
- Supervisor: Mgr. Mojmír Meduňa, Ph.D.
Citation record
Full text of thesis
Contents of on-line thesis archive
Published in Theses:- světu
Other ways of accessing the text
Institution archiving the thesis and making it accessible: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakultaMasaryk University
Faculty of ScienceBachelor programme / field:
Physics / Physics
Theses on a related topic
-
Studium epitaxních vrstev pomocí rtg metod
Michal Bednář -
Real-time Snow Deformation
Daniel Hanák -
Vliv vícenásobné plastické deformace na svařitelnost ocelí
Vladislav Ochodek -
Skin deformation techniques
Boris Bondarenko -
Deformace objektů pomocí FFD mřížky
Martin Fabian