Plazmochemická depozice organosilikonových vrstev ve vysokofrekvenčním doutnavém výboji – Bc. Václav Pekař
Bc. Václav Pekař
Master's thesis
Plazmochemická depozice organosilikonových vrstev ve vysokofrekvenčním doutnavém výboji
Plasma enhanced chemical vapor deposition of organosilicon films in radio frequency glow discharges
Abstract:
Tématem této práce byla depozice tenkých vrstev metodou PECVD ve vysokofrek\-venčním doutnavém výboji. Vrstvy byly připravovány ze směsí obsahujících organosilikonové monomery hexametyldisilazan a hexametyldisiloxan. Vrstvy byly charakterizovány těmito metodami: FTIR, UV a viditelná spektrofotometrie, elipsometrie, RBS a ERDA. Byla vyšetřována především IR spektra vrstev. U vrstev připravených ze směsi …moreAbstract:
The subject matter of my diploma paper is deposition of thin films by PECVD in radio frequency glow discharge. Films were prepared out of mixtures containing organosilicon monomers hexamethyldisilasane and hexamethyldisiloxane. The characterisation of the films was accomplished by this methods: FTIR, UV and visible spectrofotometry, ellipsometry, Rutherford backscattering spectroscopy and elastic recoil …more
Language used: Czech
Date on which the thesis was submitted / produced: 14. 5. 2010
Identifier:
https://is.muni.cz/th/brl56/
Thesis defence
- Date of defence: 11. 6. 2010
- Supervisor: doc. Mgr. Lenka Zajíčková, Ph.D.
Citation record
ISO 690-compliant citation record:
PEKAŘ, Václav. \textit{Plazmochemická depozice organosilikonových vrstev ve vysokofrekvenčním doutnavém výboji}. Online. Master's thesis. Brno: Masaryk University, Faculty of Science. 2010. Available from: https://theses.cz/id/jbsbh5/.
Full text of thesis
Contents of on-line thesis archive
Published in Theses:- světu
Other ways of accessing the text
Institution archiving the thesis and making it accessible: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakultaMasaryk University
Faculty of ScienceMaster programme / field:
Physics / Plasma Physics
Theses on a related topic
-
Studium plazmových polymerů cyklopropylaminu a jejich stability během sterilizace a dezinfekce
Štěpánka Bittnerová -
Tenké vrstvy plazmového polymeru na kovových substrátech
Pavel Mach -
Kontrolovaná adsorpce antimikrobiálního enzymu na povrch plazmového polymeru
Kateřina JANOŠŤÁKOVÁ -
Charakterizace adheze tenkých vrstev plazmových polymerů
Erik Pálesch -
Studium mechanismu plazmové polymerace
Miroslav Michlíček -
Polymerní vrstvy s nanočásticemi stříbra
Barbora ŠTEFKOVÁ -
Vývoj technologie plazmochemické depozice z plynné fáze pro zlepšení užitných vlastností polymerních tenkých vrstev
Roman Přibyl -
Příprava ochranných vrstev na polymerní materiály metodou plazmochemické depozice
Lukáš Kelar