Strukturování vakuově napařených tenkých vrstev systému As-Se

Adéla Pavlíčková

Bakalářská práce

Structuring of thermally evaporated As-Se thin films

Anotace:

Tato bakalářská práce se zabývá přípravou a studiem vlastností tenkých vrstev chalkogenidového skla o složení As50Se50. Příprava vrstev proběhla metodou vakuového napařování. V této práci je studován vliv temperace a expozice tenkých vrstev halogenovou lampou na strukturu, optické vlastnosti a chemickou odolnost. Dále je studován vliv expozice elektronovým svazkem na chemickou odolnost tenkých vrstev a možnost zápisu struktur do vrstev pomocí elektronové litografie.

Abstract:

This bachelor thesis deals with deposition of thin layers of As50Se50 chalcogenide glass. The thin layer deposition was done using a method of vacuum thermal evaporation. Prepared thin layers were then used to study the impact of annealing and exposure to halogen lamp on its structure, optical properties, and chemical resistance. Furthermore, the thin layers were exposed to electron beam to test the changes in its chemical resistance and to explore the possibilities of recording structure into the layers employing electron lithography.

Klíčová slova

chalkogenidová skla, vakuové napařování, tenké vrstvy, systém As-Se

Jazyk práce: čeština

Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 4. 7. 2018

Zveřejnit od: 31. 12. 2999

Obhajoba závěrečné práce

• Vedoucí: Ing. Karel Pálka, Ph.D.

Univerzita Pardubice

Fakulta chemicko-technologická

Bakalářský studijní program / obor:
Chemie a technická chemie / Chemie a technická chemie