Časově rozlišená spektroskopie HIPIMS výboje – Bc. Matej Fekete
Bc. Matej Fekete
Master's thesis
Časově rozlišená spektroskopie HIPIMS výboje
Time resolved spectroscopy of HIPIMS discharge
Abstract:
This master thesis is dedicated to the diagnostic of HiPIMS discharge. Physical properties of magnetron sputtering, advantages and disadvantages of HiPIMS compared to DC sputtering and diagnostic methods suitable for the study of HiPIMS discharge are described. Within this thesis was developed a method based on the effective branching fractions by which it is possible to determine the absolute concentrations …moreAbstract:
Táto diplomová práca sa zaoberá diagnostikou HiPIMS výboja. Sú tu popísané fyzikálne princípy magnetrónového naprašovania, výhody a nevýhody HiPIMS oproti DC naprašovaniu a diagnostické metódy vhodné na skúmanie HiPIMS výboja. V rámci práce bola rozvinutá metóda založená na efektívnych vetviacich pomeroch, pomocou ktorej je možné z relatívnych intenzít vybraných emisných čiar atómu a iónu titánu určiť …more
Language used: Slovak
Date on which the thesis was submitted / produced: 14. 5. 2015
Identifier:
https://is.muni.cz/th/m2np7/
Thesis defence
- Date of defence: 19. 6. 2015
- Supervisor: prof. Mgr. Petr Vašina, Ph.D.
Full text of thesis
Contents of on-line thesis archive
Published in Theses:- světu
Other ways of accessing the text
Institution archiving the thesis and making it accessible: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakultaMasaryk University
Faculty of ScienceMaster programme / field:
Physics / Plasma Physics
Theses on a related topic
-
Studium reaktivního HIPIMS procesu a jeho využití pro přípravu tenkých vrstev
Katarína Bernátová -
Sub-nanosecond optical diagnostics of streamer discharges
Lukáš Kusýn -
Určení absolutní koncentrace částic při naprašování pulzy velkého výkonu
Šimon Žulták -
Příprava tenkých vstev magnetronovým naprašováním buzeným pulzy velkého výkonu a jejich charakterizace
Matej Fekete