Nestacionární model pro vysokovýkonové pulzní magnetronové rozprašování kovů – Milada KREJČOVÁ
Milada KREJČOVÁ
Bachelor's thesis
Nestacionární model pro vysokovýkonové pulzní magnetronové rozprašování kovů
Non-stacionary model for High Power Magnetron sputtering of metals
Abstract:
Předkládaná bakalářská práce se v úvodu zabývá využitím plazmových technologií. Dále popisuje základy magnetronového naprašování, jejich vývoj a použití, přičemž se zaměřuje především na vysokovýkonové pulzní magnetronové naprašování. Poté rozebírá základní metody modelování a simulace plazmatu a zaobírá se jednotlivými modely pro vysokovýkonové pulzní magnetronové výboje. Ve zvolených metodách zpracování …moreAbstract:
The presented bachelor?s thesis is at the beggining focused on using of plasma tech-nologies. Next, it explains basics of magnetron sputtering, its developement and use, with focus on High Power Impulse Magnetron Sputtering. Afterwards, it discusses ba-sic methods in modelling and simulation of plasma, with closer look on speci?c models for High Power Impulse Magnetron Sputtering discharges. The thesis …more
Language used: Czech
Date on which the thesis was submitted / produced: 16. 8. 2013
Accessible from:: 31. 12. 2999
Thesis defence
- Date of defence: 22. 8. 2013
- Supervisor: Mgr. Andrea Dagmar Pajdarová, Ph.D.
Citation record
ISO 690-compliant citation record:
KREJČOVÁ, Milada. \textit{Nestacionární model pro vysokovýkonové pulzní magnetronové rozprašování kovů}. Online. Bachelor's thesis. Plzeň: University of West Bohemia, Faculty of Applied Sciences. 2013. Available from: https://theses.cz/id/mm1un7/.
The right form of listing the thesis as a source quoted
KREJČOVÁ, Milada. Nestacionární model pro vysokovýkonové pulzní magnetronové rozprašování kovů. Plzeň, 2013. bakalářská práce (Bc.). ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI. Fakulta aplikovaných věd
Full text of thesis
Accessibility: Autor si nepřeje zpřístupnění práce veřejnosti
Contents of on-line thesis archive
Published in Theses:- Soubory jsou nedostupné.
Other ways of accessing the text
Institution archiving the thesis and making it accessible: ZÁPADOČESKÁ UNIVERZITA V PLZNI, Fakulta aplikovaných vědUniversity of West Bohemia
Faculty of Applied SciencesBachelor programme / field:
Applied Sciences and Computer Engineering / Applied and Engineering Physics
Theses on a related topic
-
Výsokovýkonové pulzní reaktivní magnetronové naprašování oxidových a oxynitridových vrstev
Alexandr BELOSLUDTSEV -
Počítačové modelování napouštění reaktivního plynu pro vysokovýkonové pulzní magnetronové naprašování oxidů kovů
Milada KREJČOVÁ -
Vysokovýkonová pulzní reaktivní magnetronová depozice vrstev VO2 na skle
Michal TICHÝ -
Vysokovýkonová pulzní magnetronová depozice vrstev
Branislav ZUŠTIN -
Vysokovýkonová pulzní reaktivní magnetronová depozice vrstev oxidů a oxynitridů tantalu a zirkonia
Jiří REZEK -
Nízkoteplotní depozice vysoce funkčních termochromických povlaků na bázi VO2 použitím pulzního reaktivního magnetronového naprašování
David KOLENATÝ -
Parametrické modelování pulzního vysokovýkonového magnetronového výboje pro depozici vrstev
Tereza LERCHOVÁ -
Parametrické modelování pulzního vysokovýkonového magnetronového výboje pro depozici vrstev
Tereza LERCHOVÁ