Vliv reaktivního plynu na depoziční rychlost tenkých vrstev na bázi bóru – Mgr. Pavel Souček, Ph.D.
Mgr. Pavel Souček, Ph.D.
Bakalářská práce
Vliv reaktivního plynu na depoziční rychlost tenkých vrstev na bázi bóru
Influence of reactive gas admixture on deposition rate of boron based thin film
Anotace:
Tato práce se zabývá studiem vlivu depozičních parametrů na rychlost růstu bórových vrstev deponovaných v poloprůmyslovém magnetronu Alcatel SCM 650. Do depozičního reaktoru bylo připouštěno malé množství dusíku, metanu nebo jejich směsi. Experimenty byly prováděny pro různá předpětí přiváděná na substrát. Bylo pozorováno snížení depoziční rychlosti všech typů připravovaných vrstev po aplikaci stejnosměrného …víceAbstract:
This work is devoted to study the effect of depositiom paramters on boron thin films deposited in semi-industrial magnetron Alcatel SCM 650. Small amount of nitrogen, methane or their mixture was added into the reactor. The experiments were conducted for various substrate bias voltages. Decrease of deposition rate for all types of the films was observed after the aplication of substrate RF voltage …více
Jazyk práce: čeština
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 22. 5. 2008
Identifikátor:
https://is.muni.cz/th/olg3y/
Obhajoba závěrečné práce
- Obhajoba proběhla 30. 6. 2008
- Vedoucí: Mgr. Marek Eliáš, Ph.D.
Citační záznam
Plný text práce
Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:- světu
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakultaMasarykova univerzita
Přírodovědecká fakultaBakalářský studijní program / obor:
Fyzika / Fyzika
Práce na příbuzné téma
-
Magnetronové naprašování tenkých vrstev
Adam Dušenka -
In-situ studium vnitřního pnutí vrstev připravených pomocí magnetronového naprašování
Nikola Tulisová -
Magnetronové naprašování vrstev s vylepšenými mechanickými a tribologickými vlastnostmi
Daniel JAVDOŠŇÁK -
Příprava a charakterizace tenkých vrstev transparentních vodivých oxidů pomocí magnetronového naprašování
Jan KOLOROS