Studium vlastností nereaktivního HiPIMS procesu za přítomnosti a absence pohybujících se ionizačních center – Bc. Marta Šlapanská
Bc. Marta Šlapanská
Diplomová práce
Studium vlastností nereaktivního HiPIMS procesu za přítomnosti a absence pohybujících se ionizačních center
Study of properties of non-reactive HiPIMS process in the presence and absence of travelling ionization zones
Anotace:
Tato diplomová práce se zabývá studiem vlastností magnetronového naprašování v HiPIMS výboji při změně magnetického pole. Změna magnetického pole byla docílena použitím tří různě silných titanových terčů. Proces naprašování byl zkoumán pomocí ICCD kamery za přítomnosti a absence pohybujících se ionizačních center, také označovaných jako spoky. Pro zpracování snímků bylo nutné spoky roztřídit do několika …víceAbstract:
This master thesis studies properties of non-reactive magnetron sputtering in a HiPIMS discharge in three different magnetic fields. Different magnetic field strength was achieved by using titanium targets of three different heights. The sputtering process was studied in presence and absence of moving ionization zones, so-called spokes. It was necessary to categorize spokes into several types according …více
Jazyk práce: čeština
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 11. 5. 2017
Identifikátor:
https://is.muni.cz/th/ejwae/
Obhajoba závěrečné práce
- Obhajoba proběhla 15. 6. 2017
- Vedoucí: Mgr. Jaroslav Hnilica, Ph.D.
Citační záznam
Citace dle ISO 690:
ŠLAPANSKÁ, Marta. \textit{Studium vlastností nereaktivního HiPIMS procesu za přítomnosti a absence pohybujících se ionizačních center}. Online. Diplomová práce. Brno: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakulta. 2017. Dostupné z: https://theses.cz/id/p1rrq8/.
Plný text práce
Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:- světu
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakultaMasarykova univerzita
Přírodovědecká fakultaMagisterský studijní program / obor:
Fyzika / Fyzika plazmatu
Práce na příbuzné téma
-
Příprava a analýza povlaků připravených v multipulzním módu magnetronového naprašování pulzy vysokého výkonu
Tomáš Rada -
Study of sputtered particles densities in non-reactive and reactive HIPIMS process
Katarína Bernátová -
Fluorescenční diagnostika jednoatomových reaktivních částic v plazmatu
Martina Mrkvičková -
Elektrická diagnostika nanosekundového plazmatu v argonu
Alica Takáčová -
Sondová diagnostika plazmatu v tokamaku COMPASS
Dario Cipciar -
Diagnostika plazmatu pomocí laserových a optických metod
Vojtěch Procházka -
Diagnostika mikrovlnné plazmové trysky
Jan Kodýtek -
Diagnostika atmosférického plazmatu metodou EPR
Ondřej Štec