Příprava a analýza povlaků připravených v multipulzním módu magnetronového naprašování pulzy vysokého výkonu – Bc. Tomáš Rada
Bc. Tomáš Rada
Bachelor's thesis
Příprava a analýza povlaků připravených v multipulzním módu magnetronového naprašování pulzy vysokého výkonu
Preparation of coatings by multipulse operation of High Power Impulse Magnetron Sputtering and their analysis
Abstract:
V této práci se věnujeme analýze a depozici tenkých vrstev titanu v nereaktivním plazmatu pomocí různých metod založených na magnetronovém naprašování se speciálním důrazem na multipulzní mód magnetronového naprašování pulzy vysokého výkonu. Jedná se o pokročilou metodu fyzikální depozice z plynné fáze produkující vrstvy s vysokou kvalitou. Výše zmíněnou depoziční metodu zde porovnáváme s lépe popsaným …moreAbstract:
In this thesis, we study the deposition of the titanium thin film in inert gas plasma using a variety of methods based on magnetron sputtering with an emphasis on multi-pulse High Power Impulse Magnetron Sputtering. This is an advanced method of physical vapour deposition producing high quality films. We compare this method to the better described direct current magnetron sputtering and standard single …more
Language used: Czech
Date on which the thesis was submitted / produced: 15. 6. 2021
Identifier:
https://is.muni.cz/th/u7yzj/
Thesis defence
- Date of defence: 6. 9. 2021
- Supervisor: doc. Mgr. Pavel Souček, Ph.D.
- Reader: Ing. Ondřej Zindulka
Citation record
ISO 690-compliant citation record:
RADA, Tomáš. \textit{Příprava a analýza povlaků připravených v multipulzním módu magnetronového naprašování pulzy vysokého výkonu}. Online. Bachelor's thesis. Brno: Masaryk University, Faculty of Science. 2021. Available from: https://theses.cz/id/syzbl4/.
Full text of thesis
Contents of on-line thesis archive
Published in Theses:- světu
Other ways of accessing the text
Institution archiving the thesis and making it accessible: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakultaMasaryk University
Faculty of ScienceBachelor programme / field:
Applied Physics / Nanotechnology - Applied Physics
Theses on a related topic
-
Rastrovací elektronová mikroskopie jako technika pro analýzu povrchu vzorků
Michaela Juříková -
Rastrovací elektronová mikroskopie za vysokých teplot
Jaroslav Stárek -
Využití rastrovací elektronové mikroskopie v oblasti strukturně fázové analýzy Ni-superslitin
Ondřej Liška -
Metodika hodnocení struktury magneticky měkkého feritu pomocí rastrovací elektronové mikroskopie
Ludmila Chovancová -
Metody environmentální rastrovací elektronové mikroskopie pro studium zmrazených roztoků
Kamila Závacká -
Metody environmentální rastrovací elektronové mikroskopie pro studium zmrazených roztoků
Kamila Závacká -
Rastrovací elektronová mikroskopie
Kristýna Adámková -
Rastrovací elektronová mikroskopie a její aplikace pro sensitivní vzorky
Kamila Hrubanová