Bc. Josef KUDĚLKA

Diplomová práce

Zobrazování polovodičových struktur užitím mikroskopie atomárních sil\nl{}

Projection of Semiconductor Structures Using Atomic Force Microscopy\nl{}
Anotace:
Tato diplomová práce se zabývá principy zobrazování povrchů a měřením elektromagnetických vlastností vzorků pomocí metod vycházejících z mikroskopie atomárních sil (AFM). Největší důraz je kladen na studium polovodičových struktur s využitím kontaktního módu mikroskopie atomárních sil a skenovací mikrovlnné mikroskopie (SMM). K měření je použit mikroskopický systém Agilent 5420 SPM, který je v této …více
Abstract:
This thesis describes the principles of surface visualisation and measurements of electromagnetic properties of samples using methods based on atomic force microscopy (AFM). The main purpose is the study of semiconductor structures using contact mode atomic force microscopy and scanning microwave microscopy (SMM). These measurements were taken using the microscopy system Agilent 5420 SPM, which is …více
 
 
Jazyk práce: čeština
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 29. 5. 2013
Zveřejnit od: 29. 5. 2013

Obhajoba závěrečné práce

  • Vedoucí: Ing. Milan Navrátil, Ph.D.

Citační záznam

Jak správně citovat práci

KUDĚLKA, Josef. Zobrazování polovodičových struktur užitím mikroskopie atomárních sil\nl{}. Zlín, 2013. diplomová práce (Ing.). Univerzita Tomáše Bati ve Zlíně. Fakulta aplikované informatiky

Plný text práce

Právo: Autor si přeje zpřístupnit práci veřejnosti od 29.5.2013

Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:
  • Soubory jsou od 29. 5. 2013 dostupné: autentizovaným zaměstnancům ze stejné školy/fakulty
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: Univerzita Tomáše Bati ve Zlíně, Fakulta aplikované informatiky
Plny text prace je k dispozici v elektronicke podobe