Studium rastu tenkých ALD vrstev a multivrstev na různých substrátech – Bc. Dominik Bača
Bc. Dominik Bača
Diplomová práce
Studium rastu tenkých ALD vrstev a multivrstev na různých substrátech
The growth of thin ALD films and multilayers on different substrates
Anotace:
V této diplomové práci se věnujeme růstu tenkých vrstev metodou Atomic layer deposition (ALD) na různých substrátech. Důraz je kladen na povrchové úpravy atmosferickým plazmatem a sledován je vliv plazmové úpravy jak na složení substrátu, tak na růst vrstvy. Jako zdroj atmosferického plazmatu byl použit difúzní koplanární povrchový bariérový výboj (DCSBD). DCSBD výboj je charakteristický nízkoteplotním …víceAbstract:
In this diploma thesis we study the growth of thin films by the Atomic Layer Deposition (ALD) method on various substrates. The focus is placed on surface treatments with atmospheric plasma and the effect of plasma treatment on both the composition of the substrate as well as the growth of the layer. Diffuse coplanar surface barrier discharge (DCSBD) was used as the source of atmospheric plasma. DCSBD …více
Jazyk práce: čeština
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 18. 8. 2020
Identifikátor:
https://is.muni.cz/th/jzwd2/
Obhajoba závěrečné práce
- Obhajoba proběhla 7. 9. 2020
- Vedoucí: RNDr. Richard Krumpolec, PhD.
- Oponent: doc. Mgr. Pavel Souček, Ph.D.
Citační záznam
Plný text práce
Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:- světu
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakultaMasarykova univerzita
Přírodovědecká fakultaMagisterský studijní program / obor:
Fyzika / Fyzika plazmatu
Práce na příbuzné téma
-
Microwave plasma synthesis and surface modification of nanostructured materials
Jozef Toman -
Formation and modification of nanocomposite layers and materials
Eva Kedroňová -
Atmospheric pressure plasma treatment of metal surfaces by DCSBD plasma source: effects of plasma treatment and aging effect of plasma treated surfaces
Vadym Prysiazhnyi -
Enhancement of energy harvesting systems efficiency by atmospheric pressure plasma treatment
Masoud Shekargoftar -
Diagnostics and applications of atmospheric pressure microwave plasma
Miroslav Šnírer -
Atmospheric Pressure Plasma Activation and Nano-Modification of Polypropylene Nonwoven Fabrics
Nina Radić -
Modification of semiconductors and oxides in plasma generated at atmospheric pressure
Dana Skácelová