Depozice tenkých vrstev ve výbojích za atmosférického tlaku – Bc. Filip Studnička
Bc. Filip Studnička
Master's thesis
Depozice tenkých vrstev ve výbojích za atmosférického tlaku
Deposition of thin films in atmospheric pressure discharges
Abstract:
V předložené práci studuji homogenní dielektrické bariérové výboje hořící za atmosférického tlaku a depozice tenkých vrstev v těchto výbojích ve směsi hexamethyldisiloxanu s dusíkem a kyslíkem a ve směsi propan-butanu s dusíkem. Provedl jsem základní elektrickou diagnostiku výbojového plasmatu a charakterizaci připravených vrstev pomocí dostupných metod (např. optická mikroskopie, spektroskopická elipsometrie …moreAbstract:
In the present work I studied dielectric barrier discharge at atmospheric pressure and the deposition of thin organosilicon films in nitrogen, oxygen and HMDSO or propane-butane nitrogen atmosphere. I performed basic electric diagnostics of plasma and the deposited films were characterised by optical microscopy, depth sensing indentation, ellipsometry, FTIR spectroscopy etc. I studied the effects of …more
Language used: Czech
Date on which the thesis was submitted / produced: 13. 5. 2010
Identifier:
https://is.muni.cz/th/giz7x/
Thesis defence
- Date of defence: 11. 6. 2010
- Supervisor: prof. RNDr. David Trunec, CSc.
Citation record
Full text of thesis
Contents of on-line thesis archive
Published in Theses:- světu
Other ways of accessing the text
Institution archiving the thesis and making it accessible: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakultaMasaryk University
Faculty of ScienceMaster programme / field:
Physics / Plasma Physics
Theses on a related topic
-
Study of the CDBD atmospheric pressure MHz discharge
Matúš Móro -
Enhancement of energy harvesting systems efficiency by atmospheric pressure plasma treatment
Masoud Shekargoftar -
Atmospheric Pressure Plasma Activation and Nano-Modification of Polypropylene Nonwoven Fabrics
Nina Radić -
Diagnostika a aplikace výbojů generovaných za atmosférického tlaku
Vlasta Štěpánová -
Laserem indukovaná fluorescence plazmatu generovaného za atmosférického tlaku
Martina Mrkvičková -
Studium dielektrických bariérových výbojů za atmosférického tlaku ve směsích plynů
Petr Kloc -
Studium depozice hydrofilních tenkých vrstev metodou PECVD za atmosférického tlaku
Michal Štipl -
Kalcinace metal-organickych nanovlaken plazmatem za atmosferickeho tlaku
Jitka Bělíková