Rastrovací elektronová mikroskopie jako technika pro analýzu povrchu vzorků

Bc. Michaela Juříková

Bakalářská práce

Scanning electron microscopy as a technique of surface analysis of samples

Anotace:

Tato bakalářská práce pojednává o skenovací elektronové mikroskopii jako o jedné z technik zkoumání vodivých vzorků. Jsou v ní popsány principy, konstrukce a funkce skenovacího elektronového mikroskopu. Je ukázáno, jak vybrat vhodné podmínky pro snímkování morfologie plochých i značně strukturovaných vzorků. Jsou vytvořeny postupy, jak rozlišit jednofázové a vícefázové materiály, jak identifikovat jejich jednotlivé fáze a jak naměřit správně jejich chemické složení.

Abstract:

This bachelor thesis deals with scanning electron microscopy as one of the techniques for examining conductive samples. It describes the principles, construction, and function of a scanning electron microscope. It demonstrates how to select suitable conditions for imaging the morphology of flat and highly structured samples. Procedures are developed to distinguish between single-phase and multiphase materials, to identify their phases and to measure their chemical composition correctly.

Klíčová slova

rastrovací elektronová mikroskopie, detektory elektronového mikroskopu, praktické využití elektronových mikroskopů, simulace Monte Carlo, scanning electron microscopy, detectors for electron microscopy, practical use of electron microscopy, Monte Carlo simulation

Jazyk práce: čeština

Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 16. 6. 2021

Obhajoba závěrečné práce

• Obhajoba proběhla 6. 9. 2021
• Vedoucí: Mgr. Jana Jurmanová, Ph.D.
• Oponent: Mgr. Ondřej Jašek, Ph.D.

Masarykova univerzita

Přírodovědecká fakulta

Bakalářský studijní program / obor:
Aplikovaná fyzika / Nanotechnologie - aplikovaná fyzika