Studium termální stability vrstev připravených metodou PE-CVD – Bc. Vladimír Ježek
Bc. Vladimír Ježek
Bachelor's thesis
Studium termální stability vrstev připravených metodou PE-CVD
Investigation of thermal stability of thin films prepared by PE-CVD
Abstract:
Předmětem této bakalářské práce bylo studium teplotní stability Diamond Like Carbon-DLC vrstev vytvořených metodou Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition- PE-CVD. Byla použita metoda termodesorpční spektrometrie v teplotním intervalu 20C - 1000C. Vzorky byly zahřívány při stálém růstu teploty 10ºC/min. v laboratorní peci a desorbující se plyn byl analyzován hmotnostním spektrometrem. Výsledky …moreAbstract:
Thermal stability of thin DLC (Diamond Like Carbon) films prepared by PE-CVD is ivestigated in this batchelor these. The thermal desorption spectroscopy (TDS) has been used. Samples were heated up to 1000ºC with constant heating rate 10ºC/min. And desorbed gas was analysed by means of mass spectrometer. Result were processed by Talk star and Exodifuse programs. The graphs of ion current relation on …more
Language used: Czech
Date on which the thesis was submitted / produced: 23. 5. 2008
Identifier:
https://is.muni.cz/th/uk65o/
Thesis defence
- Date of defence: 3. 2. 2009
- Supervisor: doc. Mgr. Pavel Sťahel, Ph.D.
Citation record
Full text of thesis
Contents of on-line thesis archive
Published in Theses:- světu
Other ways of accessing the text
Institution archiving the thesis and making it accessible: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakultaMasaryk University
Faculty of ScienceBachelor programme / field:
Applied Physics / Astrophysics
Theses on a related topic
-
Studium termální stability vrstev připravených metodou PE-CVD
Eliška Mikmeková -
Alternativní přístupy přípravy tenké vrstvy nitridu hliníku pomocí metody depozice atomárních vrstev
Rashid Dallaev -
Vysokoteplotní vrstvy Si-B-C-N a multifunkční vrstvy (Zr)-B-C-(N) připravené pulzním magnetronovým naprašováním
Petr STEIDL -
Studium nikl-silicidové vrstvy vytvořené přetavením Ni Si vrstvy nanesené elektrochemicky
Jiří Petr -
Litologie činné vrstvy na ostrově Jamese Rosse
Barbora Kampová -
Dokumentace stratigrafie barevné vrstvy v současné praxi konzervátorů-restaurátorů
Tereza Nikermaierová -
Magnetické vrstvy nano-oxidů železa pro aplikace v tištěné elektronice
František Zažímal -
Doplňkové hydroizolační vrstvy šikmých střech na bázi folií lehkého typu
Tomáš Navara