Rastrovací elektronová mikroskopie za vysokých teplot

Bc. Jaroslav Stárek

Diplomová práce

Scanning electron microscopy at high temperatures

Anotace:

V této diplomové práci se věnuji problematice elektronové mikroskopie za vysokých teplot. Používám při tom skenovací elektronové mikroskopy firmy FEI, jejichž vyhřívací stolky umí in-situ zahřívat preparáty až do teploty 1400 °C a přitom jej pozorovat v režimu nízkého vakua. V práci popisuji využití, instalace i kalibrace vyhřívacího stolku včetně vlastních zkušeností a poznatků. Zabývám se studiem závislostí teploty na různých parametrech i tvorby jednoduchého modelu stolku, kde zjištěných experimentálních poznatků využívám. Ten pak využiji při numerickém výpočtu rovnice vedení tepla, jejíž cílem je experimentálně předpovědět rozložení teploty na povrchu kelímku, kde se pokládají vzorky. Zkoumání homogenity teploty je hlavním cílem této práce. Po jejím teoretickém odhadu se zabývám experimentálním ověřením. Na závěr práce ještě popisují experiment, který jsem na nakalibrovaném stolku prováděl.

Abstract:

In this thesis I study high temperature electron microscopy. I am using scanning electrone microscopes of the company FEI, which heating stages can in-situ heat samples up to 1400 °C while observing. In this thesis I describe using, installation and calibration of heating stage including my own experiences and findings. I study temperature dependence of various parameters and propose a simple model of heating stage, where I use my findings. This model I use for numerical calculations of heat equation, which leads to prediction of temperature distribution on the surface of crucible, where the samples are placed. Investigation of temperature homogenity is the primary purpose of this thesis. After I theoretically predict temperature distribution on crucible, I experimentally check it. In the end of this thesis I describe an experiment, which I performed on a calibrated heating stage.

Klíčová slova

Elektronová mikroskopie, Skenovací elektronová mikroskopie, Vysoké teploty, Vyhřívací stolek, Homogenita teploty, Kalibrace, Electron microscopy, Scanning electron microscopy, High temperatures, Heating stage, Temperature homogeneity, Calibration

Jazyk práce: čeština

Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 14. 5. 2014

Obhajoba závěrečné práce

• Obhajoba proběhla 19. 6. 2014
• Vedoucí: doc. RNDr. Petr Mikulík, Ph.D.

Masarykova univerzita

Přírodovědecká fakulta

Magisterský studijní program / obor:
Fyzika / Fyzika kondenzovaných látek