Depozice a charakterizace tenkých organosilikonových pa SiOx vrstev – Ing. Mgr. Monika Fialová
Ing. Mgr. Monika Fialová
Bachelor's thesis
Depozice a charakterizace tenkých organosilikonových pa SiOx vrstev
Deposition and characterization of thin organosilicon and SiOx films
Abstract:
Tato práce se zabývá charakterizací tenkých orgranosilikonových a SiOx vrstev nanášených metodou plazmochemické depozice z plynné fáze. Vrstvy vznikaly ze směsi hexamethyldisiloxanu a kyslíku. SiOx vrstvy byly deponovány v pulzním i kontinuálním režimu vysokofrekvenčního kapacitně i indukčně vázaného doutnavého výboje při různých hodnotách tlaku. Organosilikonové vrstvy byly nanášeny ve vysokofrekvenčním …moreAbstract:
This thesis deals with the characterization of thin organosilicon and SiOx films, which were prepared by the plasma enhanced chemical vapour deposition from a mixture of hexamethyldisiloxane and oxygen. SiOx films were deposited in radio frequency capacitively and inductively coupled plasma discharges in continuous and pulsed modes at different pressures. Organosilicon films were deposited in radio …more
Language used: Czech
Date on which the thesis was submitted / produced: 21. 5. 2009
Identifier:
https://is.muni.cz/th/socei/
Thesis defence
- Date of defence: 29. 6. 2009
- Supervisor: doc. Mgr. Lenka Zajíčková, Ph.D.
- Reader: Mgr. Zuzana Studýnková, Ph.D.
Citation record
Full text of thesis
Contents of on-line thesis archive
Published in Theses:- světu
Other ways of accessing the text
Institution archiving the thesis and making it accessible: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakultaMasaryk University
Faculty of ScienceBachelor programme / field:
Physics / Physics
Theses on a related topic
-
Organosilicon coatings based on trimethylsilyl acetate monomer prepared using plasma of RF capacitively coupled glow discharge
Štěpánka Kelarová -
Vývoj technologie plazmochemické depozice z plynné fáze pro zlepšení užitných vlastností polymerních tenkých vrstev
Roman Přibyl -
Vývoj multifunkčních ochranných vrstev pro polykarbonátové substráty
Jan Čupera -
Plazmochemická depozice organosilikonových vrstev ve vysokofrekvenčním doutnavém výboji
Václav Pekař