Studium rastu tenkých ALD vrstev a multivrstev na různých substrátech – Bc. Dominik Bača
Bc. Dominik Bača
Master's thesis
Studium rastu tenkých ALD vrstev a multivrstev na různých substrátech
The growth of thin ALD films and multilayers on different substrates
Abstract:
V této diplomové práci se věnujeme růstu tenkých vrstev metodou Atomic layer deposition (ALD) na různých substrátech. Důraz je kladen na povrchové úpravy atmosferickým plazmatem a sledován je vliv plazmové úpravy jak na složení substrátu, tak na růst vrstvy. Jako zdroj atmosferického plazmatu byl použit difúzní koplanární povrchový bariérový výboj (DCSBD). DCSBD výboj je charakteristický nízkoteplotním …moreAbstract:
In this diploma thesis we study the growth of thin films by the Atomic Layer Deposition (ALD) method on various substrates. The focus is placed on surface treatments with atmospheric plasma and the effect of plasma treatment on both the composition of the substrate as well as the growth of the layer. Diffuse coplanar surface barrier discharge (DCSBD) was used as the source of atmospheric plasma. DCSBD …more
Language used: Czech
Date on which the thesis was submitted / produced: 18. 8. 2020
Identifier:
https://is.muni.cz/th/jzwd2/
Thesis defence
- Date of defence: 7. 9. 2020
- Supervisor: RNDr. Richard Krumpolec, PhD.
- Reader: doc. Mgr. Pavel Souček, Ph.D.
Citation record
Full text of thesis
Contents of on-line thesis archive
Published in Theses:- světu
Other ways of accessing the text
Institution archiving the thesis and making it accessible: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakultaMasaryk University
Faculty of ScienceMaster programme / field:
Physics / Plasma Physics
Theses on a related topic
-
Microwave plasma synthesis and surface modification of nanostructured materials
Jozef Toman -
Formation and modification of nanocomposite layers and materials
Eva Kedroňová -
Atmospheric pressure plasma treatment of metal surfaces by DCSBD plasma source: effects of plasma treatment and aging effect of plasma treated surfaces
Vadym Prysiazhnyi -
Enhancement of energy harvesting systems efficiency by atmospheric pressure plasma treatment
Masoud Shekargoftar -
Diagnostics and applications of atmospheric pressure microwave plasma
Miroslav Šnírer -
Atmospheric Pressure Plasma Activation and Nano-Modification of Polypropylene Nonwoven Fabrics
Nina Radić