Plazmochemická depozice organosilikonových tenkých vrstev – Bc. Igor Sabol
Bc. Igor Sabol
Bakalářská práce
Plazmochemická depozice organosilikonových tenkých vrstev
Plasma enhanced chemical vapor deposition of organosilicon thin films
Abstract:
In this bachelor thesis I deal with the deposition of polymer layers using a capacitivelycoupled high-frequency low-pressure discharge. Hexamethyldisiloxane and oxygen were used as precursors, and the layers were deposited on a glass plates and silicon substrate. During deposition, the deposition conditions were changed, especially pressure, bias and deposition time. Surface properties were analyzed …víceAbstract:
V tejto bakalárskej práci sa venujem depozícii polymérnych vrstiev pomocou vysokofrekvencného nízkotlakového tlecieho výboja s kapacitnou väzbou. Ako prekurzory sú použité hexametyldisiloxan a kyslík, vrstvy boli deponované na sklo a kremíkový substrát. Pri depozíciách boli menené depozicné podmienky, a to tlak, predpätie a depozicný cas. Povrchové vlastnosti boli analyzované pomocou konfokálneho mikroskopu …více
Jazyk práce: slovenština
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 24. 5. 2022
Identifikátor:
https://is.muni.cz/th/zulwt/
Obhajoba závěrečné práce
- Obhajoba proběhla 27. 6. 2022
- Vedoucí: Mgr. Roman Přibyl
- Oponent: Mgr. Ondřej Jašek, Ph.D.
Plný text práce
Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:- světu
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakultaMasarykova univerzita
Přírodovědecká fakultaBakalářský studijní program / obor:
Aplikovaná fyzika / Nanotechnologie - aplikovaná fyzika
Práce na příbuzné téma
-
Plasma enhanced chemical vapor deposition of functional coatings for biomedical applications
Miroslav Michlíček -
Organosilicon coatings based on trimethylsilyl acetate monomer prepared using plasma of RF capacitively coupled glow discharge
Štěpánka Kelarová -
Atmospheric pressure plasma treatment of metal surfaces by DCSBD plasma source: effects of plasma treatment and aging effect of plasma treated surfaces
Vadym Prysiazhnyi -
Surface treatment of polymer materials by plasma generated in liquids and in contact with them
Oleksandr Galmiz -
Plazmové polymery na bázi PLA s laditelnou permeabilitou/biodegradabilitou
Liliana Kučerová -
Plazmové leptání plazmových polymerů cyklopropylaminu využitých pro biosenzory
Jan Daňhel -
Plasma-chemical modifications of polymeric materials
David Pavliňák -
Effects of elaboration conditions on structural and magnetic properties of SnO2: bulks and thin films
Petr Pazourek