Bc. Martin Málek

Bachelor's thesis

Optická charakteristika tenkých vrstev nitridu křemíku

Optical characterization of silicon nitride thin films
Anotácia:
V této bakalářské práci se věnujeme optické charakterizaci nestechiometrických tenkých vrstev nitridu křemíku. Nejprve uvádíme základní teorii chování světla na rozhraní jednoho i více prostředí. Následně zaměřujeme pozornost na způsob výroby a metody měření studovaných vzorků. Zavádíme strukturní i disperzní modely, kterými vzorky popisujeme. Na závěr vyhodnocujeme naměřená data, počítáme hodnoty …viac
Abstract:
In this thesis we study optical properties of non-stoichiometric silicon nitride thin films. First we introduce basic theory of light propagation through single layered and multilayered systems. Next we focus on methods of deposition and measurement of studied samples. We introduce structural and dispersion models, by which are samples described. Lastly we evaluate experimental data, calculate values …viac
 
 
Jazyk práce: Czech
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 22. 5. 2019

Obhajoba závěrečné práce

  • Obhajoba proběhla 25. 6. 2019
  • Vedúci: prof. RNDr. Ivan Ohlídal, DrSc.
  • Oponent: Mgr. Daniel Franta, Ph.D.

Citační záznam

Plný text práce

Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:
  • světu
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakulta