Optická charakteristika tenkých vrstev nitridu křemíku – Bc. Martin Málek
Bc. Martin Málek
Bakalářská práce
Optická charakteristika tenkých vrstev nitridu křemíku
Optical characterization of silicon nitride thin films
Anotace:
V této bakalářské práci se věnujeme optické charakterizaci nestechiometrických tenkých vrstev nitridu křemíku. Nejprve uvádíme základní teorii chování světla na rozhraní jednoho i více prostředí. Následně zaměřujeme pozornost na způsob výroby a metody měření studovaných vzorků. Zavádíme strukturní i disperzní modely, kterými vzorky popisujeme. Na závěr vyhodnocujeme naměřená data, počítáme hodnoty …víceAbstract:
In this thesis we study optical properties of non-stoichiometric silicon nitride thin films. First we introduce basic theory of light propagation through single layered and multilayered systems. Next we focus on methods of deposition and measurement of studied samples. We introduce structural and dispersion models, by which are samples described. Lastly we evaluate experimental data, calculate values …více
Jazyk práce: čeština
Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 22. 5. 2019
Identifikátor:
https://is.muni.cz/th/vs0g0/
Obhajoba závěrečné práce
- Obhajoba proběhla 25. 6. 2019
- Vedoucí: prof. RNDr. Ivan Ohlídal, DrSc.
- Oponent: Mgr. Daniel Franta, Ph.D.
Plný text práce
Obsah online archivu závěrečné práce
Zveřejněno v Theses:- světu
Jak jinak získat přístup k textu
Instituce archivující a zpřístupňující práci: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakultaMasarykova univerzita
Přírodovědecká fakultaBakalářský studijní program / obor:
Fyzika / Fyzika
Práce na příbuzné téma
-
Non-invasive contactless identification and characterization of microorganisms by Raman spectroscopy and optical micromanipulations
Silvie Bernatová -
Určování optických konstant a strukturních parametrů tenkých DLC vrstev s příměsí křemíku a kyslíku
Pavlína Kührová -
Určování optických konstant a tlouštěk tenkých vrstev nitridu křemíku
Diana Csontosová -
Elektronové vlastnosti kobaltitů studovaných pomocí elipsometrie
Miroslav Golian -
Mueller matrix ellipsometry of special samples
Přemysl Ciompa -
Time-domain terahertz ellipsometry and polarimetric applications of spintronic emitters
Pierre Koleják -
Optická elipsometrie
Tomáš HORÁK -
Modulační elipsometrie
Jindřich Oulehla