Studium mechanických vlastností tenkých vrstev

Bc. Tomáš Novotný

Master's thesis

Study of mechanical properties of thin films

Anotácia:

Práce je věnována studiu a popisu metod umožňujících stanovení materiálových parametrů tenkých vrstev, jako jsou např. tvrdost, elastický modul, vnitřní pnutí, adheze vrstev k substrátům, otěruvzdornost, koeficient tření, lomovou houževnatost, atd a to včetně historického vývoje. Největší důraz je kladen na metodu instrumentované indentace (DSI), u které je popsána teorie určování charakteristik a i možné problémy při jejich určování. Uvedeme i současné komerční přístroje, které používají metodu DSI. V závěru bude uvedeno několik měření různých tenkých vrstev, u kterých budeme diskutovat jejich parametry.

Abstract:

In this thesis we will describe methods, which enable the determination of mechanical properties of thin films, such the hardness, elastic modulus, internal stress, adhesion of the films to the substrates, wear resistance, friction coefficient, fracture toughness, etc. Also we will look into history of measuring mechanical properties. The main focus will be on the instrumented indentation method (DSI), it's theory and problems that they can occur. We also mention present commercial instruments based on DSi method. At the end we will present measurments of several different thin layers and we will discuss their parameters.

Kľúčové slová

mechanical properties, thin layers, DLC, DSI, instruments, hardness, microhardness, mechanické vlastnosti, tenké vrstvy, přístroje, tvrdost, mikrotvrdost

Jazyk práce: Czech

Datum vytvoření / odevzdání či podání práce: 14. 5. 2012

Obhajoba závěrečné práce

• Obhajoba proběhla 21. 6. 2012
• Vedúci: doc. RNDr. Vilma Buršíková, Ph.D.

Masaryk University

Faculty of Science

Master programme / odbor:
Physics / Upper Secondary School Teacher Training in Physics