Advanced ellipsometric techniques and studies of low-k dielectric films. – Mgr. Přemysl Maršík, Ph.D.
Mgr. Přemysl Maršík, Ph.D.
Doctoral thesis
Advanced ellipsometric techniques and studies of low-k dielectric films.
Advanced ellipsometric techniques and studies of low-k dielectric films.
Abstract:
Disertace pokrývá dvě blízká témata: elipsometrickou metodologii a studium tenkých dielektrických vrstev. Tato práce zahrnovala i rekonstrukci elipsometru a vývoj potřebného softwaru pro zpracování a analýzu dat. V první části zopakujeme nezbytné teoretické základy a popíšeme základní elipsometrické konfigurace. Věnujeme se dvěma elipsometrickým konfiguracím: elipsometrii s rotačním analyzátorem (RAE …moreAbstract:
Thesis covers two related topics: ellipsometric methodology and studies of dielectric thin films. The work included reconstruction on an ellipsometric instrument and development of the necessary data acquisition and analysis software. In the first part, the necessary theoretical background is reviewed and the basic ellipsometric configurations are described. We focus on two ellipsometric configurations …more
Language used: English
Date on which the thesis was submitted / produced: 26. 8. 2009
Identifier:
https://is.muni.cz/th/nga3b/
Thesis defence
- Date of defence: 21. 10. 2009
- Supervisor: prof. RNDr. Josef Humlíček, CSc.
- Reader: Ing. Alexandr Dejneka, Ph.D., Mgr. Adam Dubroka, Ph.D.
Citation record
ISO 690-compliant citation record:
MARŠÍK, Přemysl. \textit{Advanced ellipsometric techniques and studies of low-k dielectric films.}. Online. Doctoral theses, Dissertations. Brno: Masaryk University, Faculty of Science. 2009. Available from: https://theses.cz/id/ecepfg/.
Full text of thesis
Contents of on-line thesis archive
Published in Theses:- světu
Other ways of accessing the text
Institution archiving the thesis and making it accessible: Masarykova univerzita, Přírodovědecká fakultaMasaryk University
Faculty of ScienceDoctoral programme / field:
Physics (4-years) / Solid Matter Physics
Theses on a related topic
-
Elektronové vlastnosti kobaltitů studovaných pomocí elipsometrie
Miroslav Golian -
Elipsometrie tenkých vrstev
Zbyněk Novotný -
Optická elipsometrie
Tomáš HORÁK -
Srovnání spektroskopické elipsometrie a spektroskopické reflektometrie při určování hodnot tlouštěk a optických konstant vybraných tenkých vrstev
Tomáš Šamořil -
Amorfní chalkogenidové tenké vrstvy
Petra Hawlová -
Sol-gel vrstvy jako nástroj pro modifikaci povrchových\nl{} struktur optických komponent.
Maxim Savelov -
Modulační elipsometrie
Jindřich Oulehla